‘Chip-on-MEMS': Nieuwe techniek in versnellingsopnemers

VTI Technologies Oy, vooral bekend van versnellings sensoren ten behoeve van de automotive industrie, richt zich nu ook meer en meer op medische- en consumentenapplicaties, waarvoor afmetingen, stroomverbruik en robuustheid als belangrijke specificaties gelden. Hiertoe wordt gebruik gemaakt van het nieuwe concept ‘Chip-on-Mems', waarbij het sensor element en de signaal conditionerings elektronica door middel van flip-chip technieken zijn verbonden.

Groot voordeel hiervan is de aanzienlijke reductie van de totale afmetingen. Ook wordt hierbij gebruik gemaakt van nieuwe ASIC's, waardoor het stroomverbruik aanzienlijk wordt teruggebracht. Ander voordeel van deze techniek is, dat de interconnectie tussen sensorelement en ASIC niet meer door middel van bond-technieken wordt gerealiseerd en derhalve de kostprijs daalt.

Als eerste product op basis van dit concept is een complete 3-assige versnellingsopnemer aangekondigd, met totale afmetingen van minder dan  2x2x1 mm en een continue stroomverbruik in de order van grootte van 30 μA.  Deze sensoren zijn vooral bestemd voor draagbare applicaties op het gebied van human-motion monitoring, zoals sportcomputers, healthcare en telemedicine. De toepassing van de 3-dimensionale micro-mechanica en de daarbij behorende robuuste constructie staan garant voor een uiterst betrouwbaar en schok-bestendig produkt.

Exacte specificaties zijn nog niet bekend, maar naar verwachting komen deze gegevens beschikbaar in het vierde kwartaal van 2008. Een evaluatieset, met  USB-adapter en algemeen gebruikers interface (GUI) op basis van de al geïntroduceerde SCA3000 serie, is reeds in ontwikkeling .

bron: CenS (Micro)Electronics