Sensor meet zeer lage verschildrukken

De LBA-sensoren van Sensortechnics meten extreem lage verschildrukken in het meetbereik van 0...250 Pa en 0...500 Pa. Door een volledige analoge CMOS-signaalverwerking leveren de sensoren lineaire en temperatuurgecompenseerde uitgangssignalen met een resolutie van typisch 0,1% en reactietijden van typisch 1 ms.

De LBA-sensoren maken gebruik van thermische massastroommeting van gas door een zeer klein stromingskanaal dat is geïntegreerd in de sensorchip. Dit smalle kanaal vermindert de gasstroom door de sensor en de verbindingsleidingen aanzienlijk in vergelijking met traditionele strominggebaseerde verschildruksensoren. De verschildruksensoren zijn daarom zeer ongevoelig voor stof en vocht en kunnen worden gebruikt in combinatie met verbindingsleidingen en filters zonder dat het uitgangssignaal wordt beïnvloed. Omdat de minimale doorstroming al op chipniveau is vastgelegd door de vormgeving van het stromingskanaal, is er geen ingewikkelde behuizingsconstructie nodig.

 

bron: www.sensortechnics.com