14 jul. 2008
1 minuut
Mapper Lithography ontwikkelt een elektronenlithografiemachine voor de fabricage van halfgeleiders. Technolution is technologiepartner en verantwoordelijk voor de ontwikkeling van het datapad, het onderdeel van de machine dat de stuursignalen voor de elektronenbundels genereert en verdeeld door de machine.
Het datapad is een omvangrijk en kritisch component van de lithografiemachine en bevat state of the art technologie. De elektronenlithografiemachine heeft veel data nodig: het equivalent van 1000 DVD’s per seconde. De af te beelden ontwerpgegevens moeten uitgepakt en realtime aangepast worden om afwijkingen zoals een kleine verschuiving of rotatie van de wafer te compenseren.
Daarnaast zijn er strenge eisen aan de tijdsaspecten van de signalen; de onnauwkeurigheid mag niet meer dan tienden van een nanoseconde bedragen. De hoeveelheid data, de noodzaak tot realtime correcties en de tijdsnauwkeurigheid maken het datapad tot een omvangrijke en kritische component van de lithografiemachine.
Voor het datapad heeft Technolution een speciale verwerkingseenheid ontwikkeld, welke de capaciteit van twaalf Altera FPGAs bundelt op een enkele kaart. De kaarten zijn gebouwd in een ATCA vormfactor, waardoor ze eenvoudig gecombineerd kunnen worden met andere commercieel verkrijgbare onderdelen voor ondersteunende taken.
Deze maand is een belangrijke mijlpaal gerealiseerd door het in bedrijf stellen van de eerste exemplaren van deze verwerkingskaarten. Uiteindelijk zullen 130 kaarten per machine worden toegepast in de eerste generatie Mapper machines.
Tijdens de keynote van de Bits en Chips Hardware Conferentie op 13 juni, zal de systeemarchitect achter het datapad, Edwin Hakkennes, meer vertellen over de ontwikkeling van het datapad.
Anderen lazen ook
