Nieuwe cleanrooms ASML vol met PCD's en webpanels

ASML in Veldhoven, wereldmarktleider op het gebied van wafersteppers en waferscanners, laat momenteel haar cleanroomcapaciteit verdubbelen door systeemintegrator GTI Suez. In dit gigantische project, waarvoor drie jaar is uitgetrokken, zorgen meer dan honderd Saia PCD's en webpanels voor optimale productiecondities in de nieuwe cleanrooms.

Cleanroomcondities zijn in de chipindustrie essentieel. Alleen onder optimaal gecontroleerde condities kan ASML de waferscanners bouwen die nodig zijn voor de productie van de nieuwste generatie chips. Waferscanners maken deze chips door stap voor stap patronen op ronde siliciumplakken (‘wafers') te projecteren die daarna worden geëtst. Het projecteren en etsen wordt wel honderd keer herhaald; de chips worden zo uit lagen opgebouwd. Precisie is hier absoluut noodzakelijk. Want alle opeenvolgende projecties moeten exact over elkaar heen vallen. Waarbij de resolutie van deze patronen slechts enkele nanometers groot is! En hoe kleiner hoe beter. Om die patronen nog kleiner te maken, gebruikt ASML naast supersterke lenzen van Zeiss een dun laagje gedemineraliseerd water dat als extra lens dient. Echter, het kleinste stofdeeltje, trilling of verandering in luchtvochtigheid of luchtdruk is al genoeg om dit proces te verstoren. Vandaar dat ASML de allerhoogste eisen stelt aan de kwaliteit van de cleanrooms.

28 cleanrooms

De complete engineering en automatisering van de technische installaties voor de cleanrooms is door ASML uitbesteed aan GTI Zuid. De levering en engineering van dit project vertegenwoordigt een totale waarde van honderd miljoen euro. Vanwege de bijzonder grote omvang is de uitvoering van het project gespreid over een periode van drie jaar en zal in 2009 worden afgerond.

Lees het complete artikel in a&b 11/2008

www.saia-burgess.nl

bron: a&b